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技術(shù)參數(shù)：

1.電子光學(xué)系統(tǒng)
1.1高電壓二次電子分辨率：0.5nm @15kV；

1.2低電壓二次電子分辨率：0.8nm @1kV；
1.3超低電壓二次電子分辨率：0.8nm @500V；1.2nm @200V；
1.4大束流二次電子分辨率：1.9nm@15kV（工作距離10mm，束流6.5nA下）；
1.5大工作距離分辨率：工作距離WD=10mm時(shí)，1kV下分辨率＝1.0nm；
1.6電子束流范圍：1.0pA~50nA；
1.7光闌：自加熱式光闌，確保清潔和無接觸式光闌更換；
1.8復(fù)合式透鏡，具備靜電式透鏡和浸沒式透鏡兩種模式，可切換不同模式，可測(cè)試磁性樣品；
1.9采用肖特基熱場(chǎng)發(fā)射電子槍；
2樣品室和樣品臺(tái)
2.1樣品室：內(nèi)寬350mm，分析工作距離10mm，端口20個(gè)；
2.2樣品臺(tái)：五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，X移動(dòng)范圍125mm，Y移動(dòng)范圍125mm，Z移動(dòng)范圍65mm，T傾斜角度-15°～+90°，n*360°旋轉(zhuǎn)；
2.3配備電子束減速模式：樣品臺(tái)偏壓范圍-4000V至+600V；
2.4配備極靴清理模塊,用于清洗極靴內(nèi)部的灰塵顆粒等污染物；
3探測(cè)器和相機(jī)
3.1樣品室二次電子探測(cè)器1個(gè)；
3.2透鏡內(nèi)二次電子探測(cè)器1個(gè)；
3.3透鏡內(nèi)高敏感背散射電子探測(cè)器1個(gè)，可在20V電壓下采集背散射電子圖像，適用于各類不導(dǎo)電和導(dǎo)電樣品背散射電子圖像觀察；
3.4鏡筒內(nèi)高分辨二次電子探測(cè)器1個(gè)，可探測(cè)樣品電位襯度；
3.5電子束束流計(jì)1個(gè)；
3.6紅外CCD相機(jī)1個(gè)；
3.7宏觀導(dǎo)航相機(jī)（安裝在樣品倉(cāng)內(nèi)）1個(gè)，視野160*105mm，3072*2048像素，至少具備自動(dòng)圖像采集、數(shù)字變焦、圖像注釋、圖像保存功能；
3.8獨(dú)立探測(cè)器和相機(jī)的數(shù)量8個(gè)；
4數(shù)字圖像記錄系統(tǒng)
4.1圖像存儲(chǔ)分辨率：不低于65k ×65k像素（非疊加下）；
4.2一鍵實(shí)現(xiàn)光路自動(dòng)合軸、自動(dòng)消像散及自動(dòng)聚焦；
4.3四活動(dòng)窗口顯示，可同時(shí)顯示6幅不同探測(cè)器圖像；
5應(yīng)用軟件
5.1配置自動(dòng)圖像拍照和拼接軟件，可實(shí)現(xiàn)不小于7×24小時(shí)無人值守自動(dòng)拍照和圖像拼接，可實(shí)時(shí)對(duì)已選定視場(chǎng)進(jìn)行回溯；
5.2電鏡操作具備取消重做功能，可返回任意一步操作；
5.3具有樣品臺(tái)圖像導(dǎo)航功能，雙擊鼠標(biāo)移動(dòng)樣品功能，鼠標(biāo)拖曳式放大及對(duì)中功能；
5.4具有基礎(chǔ)操作應(yīng)用的向?qū)В褂贸溄硬僮麟婄R，實(shí)現(xiàn)新手快速入門；
6電制冷能譜儀
6.1探測(cè)器：硅漂移（SDD）電制冷探測(cè)器，100平方毫米有效面積；
6.2能量分辨率：在100,000CPS條件下Mn Ka保證優(yōu)于129eV；
6.3自動(dòng)譜峰識(shí)別和用戶輔助手動(dòng)譜峰識(shí)別，動(dòng)態(tài)無標(biāo)準(zhǔn)定量；
6.4自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)控制能譜儀的伸縮，確保能譜儀能自動(dòng)到達(dá)理想探測(cè)位置；
7離子濺射儀：可對(duì)樣品進(jìn)行鍍金，適用于場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡觀察。